Prof. Dr.-Ing. habil. Karla Hiller

Karla Hiller beendete ihre Ausbildung zum Dipl.-Ing. an der TU Dresden (Fachrichtung Elektrotechnik) 1988. Anschließend wechselte sie an die TU Chemnitz und absolvierte dort ein Forschungsstudium (unterbrochen durch zwei Kinder-Erziehungspausen) auf dem gerade neu beginnenden Gebiet der Mikrotechnologie mit dem Fokus auf Waferbondverfahren (insbesondere Direktes Bonden).  Zu diesem Thema schloss sie 1994 ihre Promotion ab. Danach arbeitete sie als wissenschaftliche Mitarbeiterin am Lehrstuhl für Mikrotechnologien und dem Zentrum für Mikrotechnologien an der Entwicklung von (Silizium-basierten) MEMS-Technologien für verschiedene Anwendungen, wie z.B. Drucksensoren, Beschleunigungs- und Vibrationssensoren, Gyroskope, optische Filter und Mikrospiegel, elektrostatische Aktuatoren. Sie leitete mehrere große öffentlich geförderte Projekte, wie z.B. das EU-Projekt „SEMOFS“ (2005-2008) zur Entwicklung einer polymer-basierten Kartusche für die Point-of-Care-Diagnostik, aber auch nationale Projekte (BMBF, SAB, ZIM) mit industrienahen Sensor- und Technologieentwicklungen. 2004 habilitierte sie zum Thema „Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten“. Ihre Aktivitäten bei der DFG umfassten z.B. die aktive Teilnahme als PI im Sonderforschungsbereich  „Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays“ und in der Forschergruppe 1713: “Sensor and actuator systems” der TU Chemnitz. Seit 2008 ist sie stellvertr. Direktorin des Zentrums für Mikrotechnologien und seit 2011 außerplanmäßige Professorin an der Professur Smart Systems Integration (bis 2020 Professur Mikrotechnologie