Hermetisches Fügen von MEMS-basierten Bauelementen mithilfe reaktiver Multischichtsysteme (RMS)
Autoren: Dipl.-Ing. Michael Dietrich, Dipl.-Ing. Erik Pflug, Dr. rer. nat. Andreas Leson, Prof. Dr. Alfons Dehé, Dr.-Ing. Stephan Knappmann, Dr.-Ing. Axel Schumacher
Zur Realisierung hermetisch dichter Fügeverbindungen in der Mikroverbindungstechnik wurden mit Zirkonium(Zr)/Silicium(Si)/Aluminium(Al) neuartige ...
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