Ein kontaktloses Temperaturmesssystem zur Steuerung der Wärmeeinbringung bei Elektronenstrahlprozessen im Vakuum
Autoren: Prof. Dr.-Ing Helmut Wohlfahrt, Dr.-Ing. Thomas Nitschke-Pagel, Dr. rer. nat. Ingo Decker, Dipl.-Ing. Peter Krull, Dipl.-Ing. Christian Maul, Dr.-Ing. Jens Overrath, Dr.-Ing. habil. Jan Felba, Prof. P. Kazimierz
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